HVPE系统(国内唯一专业制造厂家)
在LED、LD、紫外探测器、功率电子器件众多领域均有广泛应用
应用领域：用于第三代半导体材料GaN晶体或厚膜生长
□ 用 途：在 GaN/ 蓝宝石/SiC外延生长GaN 厚膜/单晶
□ 结构形式：垂直结构 / 水平结构
□ 工作能力：单片 / 三片（ 2-4inch ）
□ 设备组成：主机（反应室、加热体等）、真空及压力控制系统、计算机控制系统、气源/ 气柜系统、尾气处理等
□ 应 用： 为科研院所、大专院校定制产品
□ 供货类型： 研发型（R&D）

欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。